ATOS比例閥工作結構原理
ATOS比例閥輸入信號增大，供氣用電磁閥先導閥1換向，而排氣用電磁先導閥7處于復位狀態，則供氣壓力從SUP口通過閥1進入先導室5，先導室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關閉，產生輸出壓力。 ATOS比例閥此輸出壓力通過壓力傳感器6反饋至控制回路8。在這里，與目標值進行快速比較修正，知道輸出壓力與輸入信號成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入信號的變化成比例的變化。由于沒有噴嘴擋板機構，故閥對雜質不敏感，可靠性高。
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